防爆型電子化學(xué)品純化機(jī)組

更新時(shí)間：2026-08-07 點(diǎn)擊次數(shù)：212

防爆型電子化學(xué)品純化機(jī)組為易燃易爆電子濕化學(xué)品專屬的本質(zhì)安全型提純成套裝備。半導(dǎo)體行業(yè)多數(shù)高純有機(jī)溶劑具備高揮發(fā)性、閃點(diǎn)低、極易形成爆炸性混合氣，普通純化機(jī)組電機(jī)、電磁閥、電控元件產(chǎn)生的電火花極易引發(fā)安全事故；該機(jī)組從電氣配置、管路結(jié)構(gòu)、運(yùn)行工藝三層落實(shí)防爆防護(hù)，在保障生產(chǎn)安全前提下完成電子化學(xué)品超凈高純精制加工，是芯片濕電子材料生產(chǎn)線的核心專用設(shè)備。

二、整機(jī)系統(tǒng)組成

核心純化單元：可按需配置減壓精餾塔、多柱吸附純化模組、PFA 精密過濾組件，分離去除微量金屬雜質(zhì)、顆粒物、水氧、異構(gòu)雜質(zhì)；
防爆動(dòng)力電控單元：全部電機(jī)、傳感器、電磁閥、觸控元件采用防爆元器件，整機(jī)接地防靜電，密閉管路抑制可燃?xì)怏w外泄；
惰性氣體防護(hù)單元：高純氮?dú)馕⒄龎焊艚^空氣，抑制溶劑揮發(fā)、物料氧化，規(guī)避爆炸混合氣生成；
在線監(jiān)測(cè)自控單元：實(shí)時(shí)管控溫度、真空度、壓力、電導(dǎo)率、金屬離子參數(shù)，支持全自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行、DCS 遠(yuǎn)程聯(lián)動(dòng)；
安全配套單元：配置緊急泄壓、溶劑廢氣回收、泄漏傳感報(bào)警、水冷降溫防護(hù)組件。

三、核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

全域防爆安全：整套電氣達(dá)到工業(yè)防爆標(biāo)準(zhǔn)，密閉無揮發(fā)結(jié)構(gòu)、氮?dú)飧艚^、防靜電設(shè)計(jì)，適配防爆車間高危作業(yè)；
低析出高純材質(zhì)：物料通路選用拋光 316L 不銹鋼、PFA、石英材質(zhì)，金屬離子析出可控至 ppb 級(jí)別，滿足 SEMI 電子化學(xué)品等級(jí)；
多工藝靈活適配：可組合精餾、吸附、膜除雜工藝，適配醇類、醚類、酯類、酮類各類易燃電子溶劑；
模塊化撬裝結(jié)構(gòu)：整機(jī)集成撬裝，到場(chǎng)對(duì)接管線即可投產(chǎn)，小試、中試、工業(yè)化量產(chǎn)機(jī)型齊全。